3/4" cartuccia di filtro della polvere sinterizzata filo maschio SS316L per la filtrazione di circolazione dei residui di CMP

La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" di TOPTITECH è progettata specificatamente per la filtrazione della circolazione dei liquami CMP nei processi di planarizzazione di wafer semiconduttori. La pressatura isostatica a freddo e la sinterizzazione sotto vuoto ad alta-temperatura trasformano la polvere di acciaio inossidabile 316L atomizzata a gas- in una struttura porosa monolitica rigida con distribuzione controllata delle dimensioni dei pori. La connessione con filettatura maschio da 3/4" consente la sostituzione rapida-in nei sistemi di distribuzione dei liquami CMP esistenti, compresi i circuiti di ricircolo e i gruppi-del-punto di utilizzo nel collettore del tampone di lucidatura. Il meccanismo di filtraggio di profondità intrappola le particelle contaminanti di grandi dimensioni-agglomerati di silice, detriti di ceria e abrasivi sovradimensionati-all'interno della rete di pori interconnessi mantenendo l'integrità dell'abrasivo del liquame. I gradi di filtrazione da 0,2 µm a 65 µm sono adatti sia ai fanghi di ossido a base di silice-che ai fanghi STI a base di ceria-.

I composti di degradazione dei liquami CMP-come aggregati abrasivi, particelle di gel derivanti dalla decomposizione dei tensioattivi, residui metallici derivanti dalla corrosione delle tubazioni e sottoprodotti batterici derivanti dallo stoccaggio a ricircolo-si depositano costantemente nel residuo del filtro sulla superficie della cartuccia. La struttura interamente in metallo elimina i rischi di migrazione dei supporti comuni nelle cartucce a base di polimeri o fibre, prevenendo difetti del wafer a valle, inclusi micrograffi, opacità e danni alla struttura dovuti alla contaminazione da particelle estranee. La cartuccia filtrante in polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 4 pollici resiste a ripetuti cicli di pulizia alcalina (pH 10–12) e alla rigenerazione a ultrasuoni senza degrado strutturale. Riutilizzabile per più campagne di produzione, questa cartuccia offre 5-10 anni durata utile rispetto ai cicli di sostituzione di 2-4 settimane delle alternative polimeriche usa e getta, riducendo significativamente i costi dei materiali di consumo e i tempi di inattività della fabbricazione dei semiconduttori.

• Materiale: polvere SS316L
• Dimensioni: φ40*400 mm
• Dimensione dei pori: 0,5um
• Connettore: 3/4: filettatura maschio
• Porosità: 30%-40%
• Tecnica: Sinterinag

I. La ritenzione del particolato senza rischi-bypass

La polvere sferica 316L atomizzata a gas-si compatta e sinterizza in una matrice di filtrazione di profondità monolitica, offrendo una rimozione nominale assoluta da 0,2 μm a 60 μm. La struttura sinterizzata elimina i canali di bypass interni e la migrazione del mezzo riscontrati nei modelli avvolti o laminati. La filtrazione di profondità cattura gli agglomerati abrasivi-aggregati di silice, ceria e allumina-in tutta la rete porosa, non solo in superficie. Le caratteristiche di assenza di dispersione impediscono la contaminazione dei circuiti di ricircolo dell'impasto liquido a monte e dei gruppi di erogazione dei tamponi. La precisa distribuzione delle dimensioni dei pori grazie alla pressatura isostatica a freddo e alla sinterizzazione in atmosfera di idrogeno garantisce un'efficienza di filtrazione costante su più lotti di produzione.

 

 

II. Elevata capacità di trattenere lo sporco e durata prolungata

 

La cartuccia con filettatura maschio da 3/4" offre un'ampia capacità di trattenere lo sporco, catturando i composti di degradazione del liquame-particelle di gel derivanti dalla decomposizione dei tensioattivi, residui metallici dalla corrosione delle tubazioni, sottoprodotti batterici dallo stoccaggio a ricircolo-con una bassa caduta di pressione iniziale. L'elevata porosità (30–40%) e la struttura uniforme dei pori mantengono un'elevata permeabilità e una bassa resistenza alla filtrazione in condizioni di circolazione continua del liquame CMP. La durata di servizio prolungata riduce la frequenza di cambio del filtro, fondamentale per un'elevata produttività favole di wafer.

III. Stabilità chimica e termica superiore

La struttura sinterizzata SS316L resiste agli ambienti con pH estremo (pH 10–12) presenti nelle formulazioni di liquami a base di silice e ceria. Il contenuto di molibdeno fornisce resistenza alla vaiolatura e protezione dalla tensocorrosione da cloruri rispetto ai gradi 304L. La struttura monolitica interamente in metallo resiste ai danni causati dall'alta pressione, dai cicli di carico alternati e dalle fluttuazioni di temperatura durante il funzionamento della pompa di ricircolo.

 

IV.Pulibile, rigenerabile e basso costo totale di proprietà

 

La struttura interamente in metallo supporta diversi metodi di pulizia: controlavaggio, bagno a ultrasuoni o combustione per ossidazione ad alta temperatura. I cicli di pulizia alcalina (pH 10–12) e la rigenerazione ad ultrasuoni ripristinano la permeabilità originale senza degrado strutturale. La cartuccia offre una durata utile da 5 a 10 volte maggiore rispetto ai filtri monouso in polimero (PTFE/PVDF) o a base di fibra, riducendo drasticamente i costi dei materiali di consumo e i tempi di fermo degli strumenti.

V. Retrofit drop-in diretto con filettatura maschio da 3/4".

La connessione filettata maschio NPT da 3/4" si integra perfettamente nei sistemi di distribuzione dei liquami CMP esistenti-circuiti di ricircolo, gruppi al punto di utilizzo sui collettori dei tamponi di lucidatura-senza adattatori aggiuntivi. Compatibile con alloggiamenti per filtri standard, consente la sostituzione sul campo in pochi minuti. I cappucci terminali saldati al laser e le interfacce saldate garantiscono l'assenza di perdite in ambienti di fabbricazione di wafer ad alto flusso e vibrazioni elevate. Raccordi terminali, tipi di filettatura e dimensioni complessive personalizzabili disponibili per requisiti del cliente.

 

VI. Funziona in applicazioni con gas e liquidi ad alta temperatura

 

Si estende oltre la filtrazione dei liquami fino alle linee di distribuzione del gas, alla filtrazione del vapore e al trasferimento di sostanze chimiche ad elevata purezza. Adatto per la filtrazione di gas ad alta temperatura fino a 600 gradi, con stabilità termica nei cicli di sterilizzazione in autoclave in cui le membrane polimeriche si degradano. Fornisce funzioni aggiuntive: riduzione del rumore per lo scarico pneumatico, tamponamento del gas nei controlli pneumatici dello strumento CMP e ritardante di fiamma per linee di gas pericolose.

1. Filtrazione della circolazione dei liquami CMP nella planarizzazione di wafer semiconduttori

La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" rimuove gli agglomerati abrasivi sovradimensionati (silice, ceria, silice colloidale) dal liquame di planarizzazione chimico-meccanica preservando al contempo le particelle di lucidatura efficaci tra 10 e 200 nm. La matrice di filtraggio di profondità intrappola i contaminanti delle particelle-detriti di silice dal condizionamento dei cuscinetti, particelle di gel dalla decomposizione dei tensioattivi, residui metallici dalla corrosione delle tubazioni-all'interno dei sistemi interconnessi rete di pori senza canali di bypass. La ritenzione assoluta elimina micrograffi, opacità e danni alla superficie dei wafer, migliorando direttamente la resa del die nella fabbricazione di logica e memoria avanzata. Si adatta direttamente ai gruppi del punto di utilizzo e ai circuiti di ricircolo degli strumenti CMP, con filettatura NPT maschio da 3/4 che consente una rapida sostituzione sul campo senza modifiche dell'alloggiamento.

2. Recupero di catalizzatori in raffinerie e processi petrolchimici

La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" funziona a pressioni differenziali elevate (>30 bar) in operazioni di separazione liquido-solido e gas-solido negli idrocracker, idrotrattatori e unità FCC. Cattura catalizzatori di metalli preziosi (platino, palladio, nichel Raney) e catalizzatori di cracking a base di zeolite dai flussi di effluenti del reattore, recuperando particelle fini del catalizzatore fino a 0,5 μm. L'elevata porosità aperta (30–50%) e la rete sinterizzata rigida resistono all'erosione provocata dai flussi di liquame del catalizzatore ad alta velocità, consentendo cicli in flusso estesi tra le rigenerazioni di controlavaggio.

3. Purificazione di gas e vapore ad alta-temperatura

La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" resiste al funzionamento continuo fino a 600 gradi in atmosfere ossidanti, rendendola adatta per la prefiltrazione della desolforazione dei gas di scarico, la protezione della sonda del sistema di monitoraggio continuo delle emissioni (CEMS) e la rimozione di polvere ad alta temperatura dal gas di sintesi del gassificatore. Esegue la filtrazione del vapore secco a 200-300 gradi, rimuovendo particelle di ruggine, incrostazioni nei tubi e depositi di carbonio che danneggiano i filtri sterili di sterilizzazione a vapore. a valle. Applicabile anche per la rimozione dell'olio dall'aria compressa, il disappannamento nei coalescenti di gas-liquidi e la filtrazione di sfiati sterili per fermentatori e bioreattori.

4. Lavorazione di sostanze chimiche corrosive e solventi

Il contenuto di molibdeno 316L fornisce resistenza alla vaiolatura in mezzi contenenti cloruro (acqua di mare, candeggina, acido cloridrico) dove l'acciaio inossidabile 304 fallisce. La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4 filtra solventi polari forti (DMF, NMP, acetone), acido solforico concentrato, soluzioni di soda caustica e acidi organici senza degradazione del materiale. La filtrazione di profondità cattura le parti fini del catalizzatore dai reattori di idrogenazione, rimuove i residui di polimerizzazione dai circuiti di ricircolo dei monomeri e chiarifica i fluidi di trasferimento del calore nei sistemi di raffineria. L'ampia compatibilità chimica è adatta sia alla filtrazione di processo continuo che alle operazioni batch con solventi frequenti. cambi.

5. Sistemi di energia dell'idrogeno e di elettrolisi

La struttura microporosa sinterizzata 316L funge da strato diffusore di idrogeno negli elettrolizzatori PEM e nei sistemi di elettrolisi dell'acqua alcalina. La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" cattura le impurità ioniche e i contaminanti particolati dai flussi di elettroliti in ricircolo, proteggendo i gruppi membrana ed elettrodi dal degrado. Utilizzato anche come elemento di separazione gas-liquido alle uscite dell'elettrolizzatore, rimuovendo l'umidità residua dal gas prodotto dall'idrogeno prima della compressione e dello stoccaggio.

6. Trattamento delle acque industriali e delle acque reflue

La cartuccia filtrante per polvere SS316L sinterizzata con filettatura maschio da 3/4" lucida il permeato di osmosi inversa nei sistemi di acqua ultrapura dei semiconduttori, rimuovendo le particelle in tracce fino a 0,22 μm per soddisfare gli standard SEMI per il risciacquo dei wafer. Utilizzato nella filtrazione dell'acqua prodotta per l'iniezione in giacimenti petroliferi, rimuovendo i solidi sospesi dal riflusso di frattura e dallo scarico della torre di raffreddamento. Applicabile anche come filtro di lucidatura finale nelle linee di ritorno CIP, catturando spruzzi di saldatura, detriti di guarnizioni, e prodotti della corrosione provenienti da reti di tubazioni in acciaio inossidabile.

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