Filtro solido in polvere SS316L sinterizzato per getter di gas

Il filtro solido in polvere SS316L sinterizzato di TOPTITECH per getter di gas utilizza polvere sferica di acciaio inossidabile 316L atomizzata a gas- conforme agli standard ASTM F138 con un contenuto di ossigeno rigorosamente controllato inferiore a 300 ppm. Il processo di produzione impiega pressatura isostatica a freddo seguita da sinterizzazione sotto vuoto a temperature superiori a 1200 gradi, producendo una struttura porosa monolitica con morfologia dei pori uniforme ed elevato volume dei vuoti. A differenza delle costruzioni a rete saldata, questo filtro solido elimina i rischi di migrazione dei mezzi attraverso il legame metallurgico nei punti di contatto delle particelle, garantendo lo scarico zero delle particelle durante i cicli termici o le vibrazioni meccaniche. La rete di pori interconnessi genera un'ampia superficie interna superiore a 500 cm²/g, ottimizzando la cinetica di chemisorbimento per le specie di gas reattive mantenendo l'integrità strutturale sotto pressioni differenziali fino a 250 psid.

Il filtro solido in polvere SS316L sinterizzato per getter di gas di TOPTITECH funziona come supporto getter non evaporabile (NEG) o elemento di assorbimento diretto in ambienti ultra-alto vuoto (UHV), pompando attivamente idrogeno a temperatura ambiente e assorbendo ossigeno, azoto, monossido di carbonio e vapore acqueo dopo l'attivazione termica tra 650 gradi e 760 gradi. La matrice porosa 316L fornisce stabilità termica superiore fino a 677 gradi con degassamento minimo, mantenendo l'integrità del vuoto al di sotto di 10⁻¹⁰ mbar nella produzione di semiconduttori, linee di luce di acceleratori di particelle e dispositivi elettronici sigillati ermeticamente. Le applicazioni includono imballaggi sottovuoto MEMS, tubi a onde viaggianti in miniatura-che richiedono protezione catodica dall'avvelenamento e gruppi di diodi laser TO-lattina in cui l'assorbimento di umidità e gas corrosivo impedisce l'ossidazione delle facce. La struttura rigenerabile supporta cicli di cottura-ripetuti senza degrado delle prestazioni, offrendo una rimozione prolungata delle impurità del gas nella strumentazione analitica e nella lavorazione di componenti aerospaziali.

Materiale: SS316L

Dimensione dei pori: 1um

Diametro: 6 mm

Lunghezza: 130 mm

Tecnica: Sinterizzazione

 

Porosità controllata e distribuzione della dimensione dei pori

La setacciatura e la miscelazione precise della polvere sferica 316L prima della sinterizzazione consentono una struttura dei pori uniforme con distribuzione stretta. Ciò garantisce una diffusione coerente del gas e un comportamento di assorbimento prevedibile attraverso l'intero elemento filtrante, eliminando canalizzazioni o zone morte comuni nei letti di particelle compattate.

 

Eccellente resistenza alla corrosione per ambienti con gas aggressivi

La struttura austenitica 316L con aggiunta di molibdeno fornisce resistenza agli alogenuri e alle specie contenenti zolfo-. Ciò impedisce la passivazione della superficie che altrimenti bloccherebbe i siti getter attivi durante il filtraggio dei flussi di processo aggressivi o la protezione dei componenti a valle.

 

Elevata resistenza meccanica con struttura a parete sottile

La pressatura isostatica a freddo raggiunge l'uniformità della densità del verde, consentendo spessori delle pareti sinterizzate fino a 1,5 mm e resistendo a pressioni differenziali superiori a 200 psid. Ciò riduce al minimo la restrizione del flusso mantenendo l'affidabilità strutturale durante le pulsazioni di ritorno o i rapidi cambiamenti di pressione.

 

Riutilizzabile tramite pulizia a ultrasuoni e ri-cottura-out

La matrice metallica sinterizzata resiste a protocolli di pulizia aggressivi, tra cui gli ultrasuoni in solventi organici seguiti da cottura a -vuoto elevato-. Ciò ripristina le caratteristiche originali del flusso e l'attività getter senza modifiche dimensionali o degrado del materiale.

 

Capacità della struttura dei pori bimodali

Le gradazioni di polvere ingegnerizzate possono creare architetture a doppia-porosità in cui canali di flusso più grandi supportano il trasporto rapido del gas mentre le regioni micro-porose massimizzano l'area superficiale per il chemisorbimento. Ciò ottimizza l'equilibrio tra la velocità di pompaggio e la capacità totale del getter all'interno di un singolo componente.

 

Nessuna perdita di particelle o migrazione dei media

Il legame metallurgico delle particelle sferiche garantisce l'assoluta ritenzione della matrice filtrante stessa. Ciò elimina la generazione di particolato che potrebbe contaminare processi a valle sensibili come colonne di fasci di elettroni o camere di lavorazione dei wafer.

 

• Strutture di supporto della pompa getter non evaporabile (NEG): funge da matrice fisica di contenimento e supporto per materiali getter sfusi (ad es. leghe Zr-V-Fe come St707) all'interno di camere a vuoto ultra-alto (UHV). La struttura porosa in 316L contiene pellet o granuli getter consentendo al tempo stesso la diffusione senza ostacoli del gas alle superfici assorbenti attive, mantenendo l'integrità del vuoto al di sotto di 10⁻¹⁰ mbar negli acceleratori di particelle e nelle linee di luce.

• Equalizzazione della pressione del pacchetto elettronico ermetico: funziona come uno sfiato protettivo in MEMS sigillati ermeticamente, alloggiamenti di sensori e pacchetti di oscillatori contenenti pellicole getter. Previene le differenze di pressione durante i cicli termici mentre la matrice sinterizzata blocca la migrazione delle particelle che potrebbero cortocircuitare-o contaminare le superfici sensibili dello stampo.

• Impiantatori ionici e strumenti di processo per semiconduttori: installati nelle linee di erogazione del gas a monte delle sorgenti ioniche Hall terminali o delle camere di impianto. Rimuove le particelle generate dalle modifiche del cilindro o dall'usura del regolatore, mentre la struttura in polvere sinterizzata fornisce la stabilizzazione del flusso laminare, garantendo una distribuzione coerente del gas drogante sulle superfici del wafer.

• Rigenerazione del sistema di vuoto criogenico: applicato in array di pompe criogeniche in cui i getter gestiscono l'idrogeno dopo che i criopannelli si sono riscaldati durante i cicli di rigenerazione. La struttura 316L sinterizzata resiste agli shock termici dalle temperature dell'azoto liquido alla cottura a 400 gradi-senza rompersi o perdere la capacità di ritenzione delle particelle.

• Gascromatografia e strumentazione analitica: utilizzato come limitatore di flusso combinato e supporto getter nei treni di purificazione del gas vettore. La precisa architettura dei pori garantisce una contropressione costante per la stabilità del rivelatore, mentre i materiali getter rimuovono tracce di ossigeno e idrocarburi che causano rumore di base e degrado della colonna.

• Collettori di distribuzione del gas ad elevata-purezza: installati nel punto-di-utilizzo negli strumenti epitassia e CVD, dove i pannelli getter rimuovono le impurità residue. Il corpo sinterizzato monoliticamente elimina gli spruzzi di saldatura e le parti morte che intrappolano i contaminanti, fornendo gas incontaminato alle camere di deposizione per una crescita della pellicola-senza difetti.

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