Cartucce filtranti per polvere in acciaio inossidabile da 5 micron con interfacce VCR 1/2".
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Cartucce filtranti per polvere in acciaio inossidabile da 5 micron con interfacce VCR 1/2".

Cartucce filtranti per polvere in acciaio inossidabile da 5 micron con interfacce VCR 1/2".

Materiale: polvere 316L
Dimensioni: φ40*196,3 mm
Precisione del filtro: 5 micron
Interfaccia: videoregistratore 1/2"
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introduzione al prodotto

Le cartucce filtranti per polvere in acciaio inossidabile con interfacce VCR da 1/2" sono componenti critici nella produzione di semiconduttori, progettate specificatamente per sistemi di distribuzione di gas ad elevata purezza. Queste cartucce filtranti utilizzano una tecnologia avanzata di sinterizzazione della polvere metallica per ottenere una filtrazione precisa, catturando efficacemente particelle piccole fino a 5 micron. Ciò garantisce l'erogazione di gas di processo ultrapuliti, essenziali per mantenere l'integrità dei delicati processi di fabbricazione dei semiconduttori. L'interfaccia VCR da 1/2" fornisce un Guarnizione-metallo a prova di perdite-su-metallo, che soddisfa i rigorosi requisiti degli ambienti dei semiconduttori in cui anche le più piccole impurità del gas possono portare a difetti significativi nei dispositivi microelettronici. La loro struttura robusta in acciaio inossidabile-resistente alla corrosione garantisce durata e affidabilità a lungo-termine in condizioni estreme.

 

Nelle applicazioni dei semiconduttori, queste cartucce filtranti svolgono un ruolo fondamentale nella protezione delle apparecchiature a valle come i controllori di flusso di massa e le valvole di precisione dalla contaminazione da particolato. Integrandosi perfettamente nelle linee di gas ad alta{1}}purezza esistenti, semplificano l'installazione e la manutenzione riducendo al minimo i tempi di inattività del sistema. La combinazione di elevata efficienza di filtrazione, eccezionale resistenza chimica e tenuta affidabile li rende indispensabili per garantire una purezza costante del gas e un'efficienza operativa negli impianti di produzione avanzati di semiconduttori.

 

Specifiche dei prodotti
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materiale: polvere 316L
Dimensioni: φ40*196,3 mm
Precisione del filtro: 5 micron
Interfaccia: videoregistratore 1/2"
Tecnico: Sinterizzazione

Caratteristiche dei prodotti
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Purezza ultraelevata e ritenzione delle particelle
- La struttura in acciaio inossidabile sinterizzato (tipicamente 316L) fornisce un mezzo di filtrazione pulito, interamente metallico, senza leganti, adesivi o residui organici.
- In grado di trattenere particelle submicroniche fino a 0,5 μm, impedendo alla microcontaminazione di raggiungere le camere di processo o i wafer.
- Nessuna dispersione di particelle, garantendo un conteggio stabile delle particelle nell'uso a lungo termine.

 

2. Robusta stabilità meccanica e termica
- Il design interamente in metallo resiste ad alta pressione, alta temperatura e cicli termici frequenti.
- Mantiene l'integrità meccanica in condizioni di vibrazione, flusso inverso o pressione pulsante-comuni nei sistemi di distribuzione del gas.
- Compatibile con il tracciamento elettrico per linee di gas ad alta temperatura.

 

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

 

3. Ripulibile e rigenerabile
- Gli elementi filtranti possono essere sottoposti a controlavaggio, puliti a ultrasuoni o cotti sotto vuoto, consentendo una lunga durata rispetto ai filtri polimerici o ceramici.
- Il ciclo di vita tipico si estende fino a 5-10 volte quello dei filtri monouso in PTFE o PVDF, riducendo al minimo i tempi di inattività e il costo totale di proprietà.

4. Compatibilità chimica e resistenza alla corrosione
- 316L'acciaio inossidabile L mantiene una pellicola passiva di ossido in ambienti contenenti cloruro, fluoro, ammoniaca e gas acidi.
- La superficie non reattiva impedisce l'estrazione degli ioni metallici o i cambiamenti nella composizione del gas.

applicazioni

 

1. Linee di distribuzione del gas UHP
- Installato in skid per la distribuzione di gas sfuso, cabine del gas e pannelli VMB/VMP, filtra le particelle prima che il gas entri negli MFC o negli strumenti di processo.
- Utilizzato in N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ e altre linee di gas ad elevata purezza che alimentano processi critici.

 

2. Protezione ingresso regolatore di flusso di massa (MFC).
- Previene la contaminazione da particelle e l'usura delle valvole nei controllori di flusso di massa di precisione.
- Migliora la stabilità del flusso a lungo termine e la coerenza della calibrazione degli MFC.

 

3. Camera di processo e ingressi del gas dello strumento
- Garantisce un'erogazione priva di particelle e di umidità nei forni CVD, ALD, di attacco e di diffusione.
- Utilizzato nelle linee SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ e TEOS dove la purezza è fondamentale per la qualità e la resa della pellicola.

 

4. Sistemi di gas speciali e precursori
- Per gas metallo-organici o a base di alogeni dove l'inerzia chimica e la stabilità della temperatura sono cruciali.
- Spesso posizionato dopo vaporizzatori o gorgogliatori per catturare particelle o goccioline condensate.

 

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